Askar Rezvanov
Moscow Institute of Physics and Technology
H-index: 7
Europe-Russia
Top articles of Askar Rezvanov
Title | Journal | Author(s) | Publication Date |
|---|---|---|---|
Computer Modeling of Plasma-Enhanced Atomic Layer Deposition of HfO2 and ZrO2 | Russian Microelectronics | SS Zyuzin EA Ganykina AA Rezvanov Ya G Zasseev VA Gvozdev | 2023/12 |
Buffer Layers for Nonvolatile Ferroelectric Memory Based on Hafnium Oxide | Russian Microelectronics | AA Reznik AA Rezvanov SS Zyuzin | 2023/12 |
Hybrid Organosilicate Low-k Dielectrics with Benzene Bridge Groups with Increased Mechanical Properties and Small Pore Size for Modern BEOL Metallization | РФФИ | Askar A Rezvanov Andrey A Lomov Alexey S Vishnevskiy Konstantin A Vorotilov Dmitry S Seregin | 2023 |
Methylated porous low-k materials: critical properties and plasma resistance | AA Rezvanov AV Miakonkikh AS Vishnevskiy DS Seregin KA Vorotilov | 2022/1/30 | |
Dielectric Barrier in the Subtractive Process of Formation of a Copper Metallization System | Russian Microelectronics | AA Orlov AA Rezvanov VA Gvozdev GA Orlov DS Seregin | 2022/12 |
Investigation of conductive filament growth and rupture in ReRAM structures based on hafnium oxide | Ekaterina A Ganykina Askar A Rezvanov Yevgeniy S Gornev | 2022/1/30 | |
Simulation of time to failure of porous dielectric in advanced topology integrated circuit metallization system | Modern Electronic Materials | Andrey A Orlov Askar A Rezvanov | 2022/10/20 |
МОДЕЛИРОВАНИЕ РАСПРЕДЕЛЕНИЯ ЭЛЕКТРИЧЕСКИХ ПОЛЕЙ В СТРУКТУРЕ С ЭФФЕКТОМ ПАМЯТИ С ПОРИСТЫМ LOWK-ДИЭЛЕКТРИКОМ В КАЧЕСТВЕ БУФЕРНОГО СЛОЯ | Наноиндустрия | АНДРЕЙ АЛЕКСЕЕВИЧ ОРЛОВ ЕКАТЕРИНА АНДРЕЕВНА ГАНЫКИНА АСКАР АНВАРОВИЧ РЕЗВАНОВ | 2022 |
Benzene bridged hybrid organosilicate films with improved stiffness and small pore size | Materials Chemistry and Physics | AA Rezvanov AS Vishnevskiy DS Seregin Dieter Schneider AA Lomov | 2022/10/15 |
Атомно-слоевое осаждение тонких пленок оксида гафния с использованием установки «Изофаз Т. 200-01» | Наноиндустрия | СЕРГЕЙ СЕРГЕЕВИЧ ЗЮЗИН ЯСОН ГЕОРГИЕВИЧ ЗАССЕЕВ АСКАР АНВАРОВИЧ РЕЗВАНОВ ВИТАЛИЙ ВЯЧЕСЛАВОВИЧ ПАНИН ВЛАДИМИР АЛЕКСАНДРОВИЧ ГВОЗДЕВ | 2022 |
Modification of Porous Ultralow-k Film by Vacuum Ultraviolet Emission | ACS Applied Electronic Materials | Alexey I Zotovich Sergey M Zyryanov Dmitry V Lopaev Askar A Rezvanov Ahmed G Attallah | 2022/6/8 |
ФИЗИЧЕСКАЯ МОДЕЛЬ РЕЗИСТИВНОГО ПЕРЕКЛЮЧЕНИЯ В RERAM-СТРУКТУРАХ НА ОСНОВЕ ОКСИДА ГАФНИЯ | Наноиндустрия | ЕКАТЕРИНА АНДРЕЕВНА ГАНЫКИНА АСКАР АНВАРОВИЧ РЕЗВАНОВ ЕВГЕНИЙ СЕРГЕЕВИЧ ГОРНЕВ | 2022 |
Atomic layer deposition of thin films of hafnium oxide using Izofaz TM 200-01 system | Sergey S Zyuzin Yason G Zasseev Askar A Rezvanov Vitaliy V Panin Vladimir A Gvozdev | 2022/1/30 | |
Accounting for the Porosity of the Material in the Simulation of the Time-Dependent Dielectric Breakdown in the Metallization System of Integrated Circuits | Russian Microelectronics | AA Orlov EA Ganykina AA Rezvanov | 2022/12 |
Simulation of the time dependent dielectric breakdown of a porous dielectric in the metallization system of integrated circuits of the modern topological level | Materials of Electronics Engineering | AA Orlov AA Rezvanov | 2021/8 |
Mechanical Properties of Low-k Dielectric Deposited on Subtractively Patterned Cu Lines for Advanced Interconnects | IS Ovchinnikov DS Seregin DA Abdullaev KA Vorotilov AA Rezvanov | 2021/7/6 | |
Исследование кинетики взаимодействия химически активных частиц с поверхностью кремния в процессе глубокого криогенного травления | Наноиндустрия | ЯРОСЛАВ АНДРЕЕВИЧ МИРОШКИН Аскар Анварович Резванов | 2020 |
Формирование диффузионных барьеров в системе медной металлизации в методе gap filling | Наноиндустрия | АНДРЕИ АЛЕКСЕЕВИЧ ОРЛОВ АСКАР АНВАРОВИЧ РЕЗВАНОВ ВЛАДИМИР АЛЕКСАНДРОВИЧ ГВОЗДЕВ ПАВЕЛ ИГОРЕВИЧ КУЗНЕЦОВ ДМИТРИИ СЕРГЕЕВИЧ СЕРЕГИН | 2020 |
Исследование термических эффектов в HfO2 RRAM-структурах в процессе Reset | Наноиндустрия | Екатерина Андреевна Ганыкина Евгений Сергеевич Горнев Аскар Анварович Резванов | 2020 |
Evaluation of mechanical properties of porous OSG films by PFQNM AFM and benchmarking with traditional instrumentation | Langmuir | IS Ovchinnikov AS Vishnevskiy DS Seregin AA Rezvanov Dieter Schneider | 2020/7/24 |
Co-Authors
